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潔凈室靜電測試內(nèi)容主要包羅：
1 泄泄電阻
2 系統(tǒng)接地電阻
3 體積電阻
4 外面電阻
4 系統(tǒng)電阻

GB50591-2010 《潔凈室施工及驗收規(guī)范》
GB/T25915-2010 《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》

ISO 14644_2006 Cleanrooms and associated controlled environments

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